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投稿时间：2012-02-21 修订日期：2012-02-21 录用日期：2012-02-23 网络发布日期：2012-08-20
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中文摘要: 用纳米氮化钽粉末烧结制备了氮化钽烧结体，分析了烧结体的物相结构，研究了形成液种类、形成液浓度、温度、电流密度以及赋能电压等条件对氮化钽阳极氧化膜电性能的影响。结果表明，该烧结体是由纯Ta2N组成的，氮化钽阳极块体阳极氧化过程的最佳赋能工艺：磷酸溶液浓度0.01%，形成液温度55 ℃，电流密度40 mA/g，形成电压小于16 V。
Abstract:Sintered tantalum nitride anodes were prepared with tantalum nitride nanopowders. The sintered anode slugs were examined by XRD. The effects of formation solution in terms of its variety, concentration and temperature, current density and formation voltage on electrical characteristics were studied. The results show that the anode slugs are made of pure tantalum nitride phase, and the optimum anodizing process conditions including H3PO4 concentration of 0.01%, temperature of formation solutions of 55 ℃, current density of 40 mA/g and the formation voltage of less than 16 V.
文章编号： 中图分类号： 文献标志码：
基金项目:国家自然科学基金资助项目（51004008，21071014）；国家基础研究发展计划（973计划）项目（2007CB613301）
| 作者 | 单位 | |
| 刘莲云* | 北京科技大学冶金与生态工程学院；北京交通大学理学院 | liuly_njtu@126.com |
| 段世钰 | 山东省冶金设计院股份有限公司 | duanshiyu1983@126.com |
| 黄凯 | 北京科技大学冶金与生态工程学院 | khuang@metall.ustb.edu.cn |
| 朱鸿民 | 北京科技大学冶金与生态工程学院 | hzhu@metall.ustb.edu.cn |
引用文本：
刘莲云,段世钰,黄凯,朱鸿民.阳极氧化工艺条件对氮化钽烧结体电性能的影响[J].有色金属（冶炼部分）,2012(9):51-54.
Liu Lianyun,Duan Shiyu,Huang Kai,Zhu Hongmin.Effect of Anodizing Process Conditions on Electrical Characteristics of Sintered Tantalum Nitride Anodes[J].Nonferrous Metals (Extractive Metallurgy),2012(9):51-54.
刘莲云,段世钰,黄凯,朱鸿民.阳极氧化工艺条件对氮化钽烧结体电性能的影响[J].有色金属（冶炼部分）,2012(9):51-54.
Liu Lianyun,Duan Shiyu,Huang Kai,Zhu Hongmin.Effect of Anodizing Process Conditions on Electrical Characteristics of Sintered Tantalum Nitride Anodes[J].Nonferrous Metals (Extractive Metallurgy),2012(9):51-54.
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