半导体材料加工推行清洁生产刍议

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有色金属（冶炼部分）:1998,(3):42-44

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半导体材料加工推行清洁生产刍议

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中文摘要: 推行清洁生产是控制环境污染，降低末端处理负担，实现节能、降耗、减污、增效的有效手段。本文针对砷化镓和磷化镓材料加工，提出了查清源头、减污方案及优化末端处理等途径。

中文关键词: 砷化镓磷化镓清洁生产环境污染

Abstract:

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文章编号： 中图分类号：TN304.23 X383 文献标志码：

基金项目:

杨钧北京有色金属研究总院

引用文本：
杨钧.半导体材料加工推行清洁生产刍议[J].有色金属（冶炼部分）,1998(3):42-44.
.[J].Nonferrous Metals (Extractive Metallurgy),1998(3):42-44.

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