化学气相沉积钽的动力学模型

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有色金属（冶炼部分）:1995,(4):26-29,39

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化学气相沉积钽的动力学模型

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中文摘要: 描述了化学气相沉积钽的动力学，推导出低温与高温下两种模型，实验值与理论值吻合较好。

中文关键词: 化学气相沉积动力学模型钽

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文章编号： 中图分类号：TF841.604 文献标志码：

基金项目:

徐学珍许效红北京科技大学理化系

引用文本：
徐学珍,许效红.化学气相沉积钽的动力学模型[J].有色金属（冶炼部分）,1995(4):26-29,39.
.[J].Nonferrous Metals (Extractive Metallurgy),1995(4):26-29,39.

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